Supplementary Material 2

This file contains raw ULIE-SIMS data for calibration samples C1-C6

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Adrianna Rejmer (22553717) (author)
Weitere Verfasser:	Ayse Ozcan Atar (22553720) (author), Walery Kolkowski (22553723) (author), Iwona Pasternak (1358928) (author), Sylwia Kozdra (22553726) (author), Andrzej Materna (22553729) (author), Emanuele Pelucchi (1722181) (author), Wlodzimierz Strupinski (22553732) (author), Pawel Michalowski (22553735) (author)
Veröffentlicht:	2025
Schlagworte:	Physical sciences ULIE-SIMS calibration ECV measurements Si diffusion
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