Self-aligned mechanical attachment of carbon nanotubes to silicon dioxide structures by selective silicon dioxide chemical-vapor deposition
A self-aligned thin-film deposition technique was developed to mechanically attach carbon nanotubes to surfaces for the fabrication of structurally robust nanotube-based nanomechanical devices. Single-walled carbon nanotubes were grown by thermal chemical-vapor deposition (CVD) across 150-nm-wide SiO...
محفوظ في:
| المؤلف الرئيسي: | |
|---|---|
| مؤلفون آخرون: | , , , |
| التنسيق: | article |
| منشور في: |
2003
|
| الموضوعات: | |
| الوصول للمادة أونلاين: | http://hdl.handle.net/11073/20685 |
| الوسوم: |
إضافة وسم
لا توجد وسوم, كن أول من يضع وسما على هذه التسجيلة!
|