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書目詳細資料
主要作者:	Yi Chen (38576) (author)
其他作者:	Daniel Cho (6813263) (author), John Hoang (4244698) (author), Nick Altieri (21377180) (author), Ji Zhu (106734) (author), Samantha Tan (21377183) (author), Jane Chang (446866) (author)
出版:	2025
主題:	Chemical sciences Thermal etch Selective SiGe etch Kinetics model
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