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Auteur principal:	Yi Chen (38576) (author)
Autres auteurs:	Daniel Cho (6813263) (author), John Hoang (4244698) (author), Nick Altieri (21377180) (author), Ji Zhu (106734) (author), Samantha Tan (21377183) (author), Jane Chang (446866) (author)
Publié:	2025
Sujets:	Chemical sciences Thermal etch Selective SiGe etch Kinetics model
Tags:	Ajouter un tag Pas de tags, Soyez le premier à ajouter un tag!

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