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ग्रंथसूची विवरण
मुख्य लेखक: Yi Chen (38576) (author)
अन्य लेखक: Daniel Cho (6813263) (author), John Hoang (4244698) (author), Nick Altieri (21377180) (author), Ji Zhu (106734) (author), Samantha Tan (21377183) (author), Jane Chang (446866) (author)
प्रकाशित: 2025
विषय:
Chemical sciences
Thermal etch
Selective SiGe etch
Kinetics model
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