L., K., Merabet, H., Chauvat, M., Frilay, C., Portier, X., Labbe, C., . . . Gourbilleau, F. (2022). Comprehensive investigation of Er2O3 thin films grown with different ALD approaches.
توثيق أسلوب شيكاغو (الطبعة السابعة عشر)L., Khomenkova, et al. Comprehensive Investigation of Er2O3 Thin Films Grown with Different ALD Approaches. 2022.
توثيق جمعية اللغة المعاصرة MLA (الإصدار التاسع)L., Khomenkova, et al. Comprehensive Investigation of Er2O3 Thin Films Grown with Different ALD Approaches. 2022.
تحذير: قد لا تكون هذه الاستشهادات دائما دقيقة بنسبة 100%.